与螺杆式压缩机类似，干式螺杆真空泵的工作过程可分为吸气、压缩和排气三个过程。随着转子的旋转，每对相互啮合的齿相继完成相同的工作循环，吸气过程，阳转子按逆时针方向旋转，阴螺杆按顺时针方向旋转。 干式螺杆真空泵是一种工作容积作回转运动的容积式机械真空泵。

螺杆干式真空泵的特点是：

1.可靠性高。螺杆式干式真空泵零部件少，没有易损件，因此它运转可靠，寿命长。
2.操作维护方便。
3.动力平衡性好。螺杆式干式真空泵没有不平衡的惯性力，机器可平稳地高速运行。
4.适应性强。螺杆式干式真空泵具有强制输气的特点，在宽广的压力范围内能保持较高的抽速，排气量几乎不受排气压力的影响.
5.多相混输。由于螺杆式干式真空泵转子齿面间留有微小间隙，因而可抽除腐蚀性、有毒、含有粉尘、可凝性蒸汽等多种气体。

故螺杆式干式真空泵广泛应用于电子、核能、化工、医药、食品工业等领域。在半导体工业中用于生产芯片、制造液晶显示器、蚀刻、生产PLASMA的CVD制程。应用范围极为广泛。